上海微電子公司發(fā)布新一代光刻機(jī)

近日，中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造企業(yè)——上海微電子公司，在行業(yè)內(nèi)掀起了軒然大波。該公司正式發(fā)布了其全新研發(fā)的第五代光刻機(jī)，引來眾多專家和業(yè)界人士的關(guān)注。

作為當(dāng)今半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中不可或缺的核心設(shè)備之一，光刻機(jī)在芯片生產(chǎn)過程中扮演著重要角色。它通過將模板圖案投影到硅片表面，并完成曝光、顯影等工序，實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)進(jìn)行精確復(fù)制。因此，高性能、高分辨率是衡量一個(gè)光刻機(jī)優(yōu)劣的重要指標(biāo)。

據(jù)悉，“Shine-5”（閃耀-5）這款由上海微電子推出的新一代光刻機(jī)，在提供更高解析度和更快速度方面取得突破性進(jìn)展。根據(jù)相關(guān)技術(shù)報(bào)告顯示, Shine-5采用最先進(jìn)的EUV（極紫外線）技術(shù)，并成功實(shí)現(xiàn)10納米級(jí)別以下超細(xì)線條及間距曝光效果?！癝hine-5”的問世被認(rèn)為填補(bǔ)了國內(nèi)在這一領(lǐng)域與國際巨頭存在差距并具有里程碑意義。

除了令人驚嘆的技術(shù)革新外，“Shine- 5”還擁有其他諸多亮點(diǎn)值得期待：首次應(yīng)用AI智能算法于系統(tǒng)自動(dòng)化管理；集成感知器件以增強(qiáng)運(yùn)營穩(wěn)定性；配備遠(yuǎn)程監(jiān)測功能使客戶可以隨時(shí)隨地監(jiān)控設(shè)備狀態(tài)等等?！拔覀兿Ｍㄟ^‘Shine - 5’給用戶提供全方位、個(gè)性化服務(wù)。” 上海微電子副總裁李明表示道。

針對(duì)“Shine - 5”的發(fā)布, 行業(yè)專家們也紛紛發(fā)表評(píng)論: “相比前幾代產(chǎn)品而言，《閃耀－５》無論從畫質(zhì)還是操作便捷度都獲得很大改善”，“此次亦見證我國科學(xué)院所參與下游市場開發(fā)已經(jīng)開始走入深水區(qū)”。

事實(shí)上, 上海微電子公司早就秘密籌備并投入數(shù)年時(shí)間和大量資金進(jìn)行研究與開發(fā)工作. 公司堅(jiān)持自主設(shè)計(jì)理念，并聘請各類頂尖人才加盟團(tuán)隊(duì)進(jìn)行攻關(guān)合作; 當(dāng)然其中包含政府支持需要特殊注意.

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